工业真空炉性能分析及检测技术研究

　　真空炉在现代工业生产中被广泛应用,其工艺性能直接影响到零件的加工质量。本文根据我们在使用过程中,了解掌握到的一些情况,进行归纳总结。这些理论和经验,可以为今后,在真空炉类设备的选型、使用及维护方面,提供一个有益的思路和便捷的方法。真空炉的性能主要体现在下面几个参数上:脱气、抽空速度和极限真空.

　　脱气脱气是材料在真空中慢慢蒸发的现象，是真空性能上需要考虑的主要问题。在真空系统中，任何固体材料表面，都可能存在液体和气体堆积而形成的分子层。这些分子层随着压力降低而逐渐蒸发，因为真空发出的能量大于这些表面的能量。惰性气体、氮和挥发性溶剂脱气速度相对快些，水蒸气和油会附着在表面，会在几个小时后才蒸发。灰尘颗粒、多孔材料和其他外来物会增加系统的表面积，因而可引起更多的脱气出现。

　　温度和辐射会给一些吸收的分子提供足够的能量，使其脱离表面。升高炉子温度会逐渐释放出本来在低温下会保持在表面的分子。因此，随着炉子加热，脱气现象会增多。炉子温度降低或保持恒温可减少这种情况。

　　保持清洁是减少脱气的关键。用溶剂清洗真空部件可去掉水和油。另外，用惰性气体或干氮气吹洗，排除内部空气，可避免系统表面暴露在空气中时形成水蒸气膜。炉腔打开后，对其内部进行加温也能达到这个效果。要尽量减少炉腔打开的次数，尤其是在潮湿的天气时，不使用时要要保持真空。这些措施能减少脱气现象的出现并提高真空炉的性能。

　　抽空速度抽空速度是炉腔处于大气压时，真空阀打开，真空舱达到规定压力的时间，是在任何压力下（包括抽吸重质量气体）测量系统性能的方法。为了取得可复现性，炉腔应清洁、排空并脱气，而且每个真空泵已经运行足够的时间，达到了完全抽吸速度。

　　极限真空极限真空是实际完成脱气而取得的真空状态，这时泄漏引起的气体流动和真空抽吸系统以规定压力排气的能力平衡。为保持正确性，真空测量仪器必须足够灵敏并经过准确校准。

　　将炉子升高到其最大温度，加快系统的脱气。将炉子在真空下加热并冷却到室温后，一般就可以测出真实的极限真空和泄漏速度。真空泵的极限真空称为“极限低压”，是取得真空抽吸系统隔离性能的好方法。